生产厂家:德国Bruker
产品型号:Dektak-XT
一、主要性能指标
台阶高度重现性:<4埃
最大样品厚度:50mm
扫描长度范围:55mm
每次扫描数据点:最多可达120000数据点
探针压力:使用LIS3传感器:1至15mg
二、应用范围
粗糙度测试、自动台阶测试、轨迹分析测试、应力测试、3D扫描