十源电阻式蒸镀设备

一、主要配置

1、 蒸镀系统

 厂家：科诚

 型号：ZD-400

2、 速率/膜厚监测仪

 厂家：瑞士 INFICON

 型号：SQM-160

3、 薄膜镀层控制仪

 厂家：瑞士 INFICON

 型号：SQC-310

4、 手套箱

 厂家：Vigor

 型号：SG1800/750TS

二、主要应用

 OLED薄膜蒸镀